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兰州瑞德13B 15B硅片-晶体-石英-光学玻璃抛光机研磨机图片
序号 | 项目 | 规格参数 | |
1 | 下盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨) |
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光) | |||
转速 | 3-45 rpm | ||
驱动电机 | 7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
2 | 上盘 | 尺寸 | Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨) |
Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光) | |||
转速 | 3-30 rpm | ||
驱动电机 | 4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
3 | 游星轮 | 参数 | 节距：15.7 Z=64 |
数量 | 6个 | ||
4 | 太阳轮 | 转速 | 0-20 rpm |
驱动电机 | 1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm | ||
5 | 精度指标 | 上、下盘平面度 | ≤0.015mm |
下盘端跳 | ≤0.02mm | ||
6 | 加工范围 | 加工尺寸 | Φ280mm |
加工厚度 | 0.15mm(≤2"片） | ||
整盘承载量 | 18×6=108片（2" 圆片） | ||
7 | 水源 | 纯水或自来水 | |
8 | 电源 | 功率 | 14kW AC380V 50Hz |
线缆规格 | 三相五线刮．3×4mm2+2×2.5mm2 | ||
9 | 气源 | 压力 | 压缩空气源0.5-0.6Mpa |
接管口径 | 接口Φ10mm（外径） | ||
10 | 外形尺寸 | 长×宽×高：1650mm×1300mm×2500mm | |
11 | 重量 | 约3000Kg | |
销售设备清单 | |||
序号 | 设备名称 | 规格型号 | 品牌 |
1 | 双面抛光机 | 6B/9B/9.6B/13B/15B/16B/18B/20B/21B/28B/30B/40B | 日本滨井/创技/瑞德/宇环/宇晶/劳尔品牌 |
2 | 真空蒸发镀膜机 | LP1650/1800/2350/1104 | 光弛/龙翩/新科隆/莱宝/联合 |
3 | 自动移载机 | PH802 | |
4 | 自动移载机 | PH802 | |
5 | 8寸贴膜机 | UTAS208A | |
6 | 下摆机 | 光进/时代 | |
7 | 推拉机 | 永田 | |
8 | 铣磨机 | 勇益 | |
9 | 仿形机 | 120/150/170/200/250 | 中航 |
10 | 异形开料机 | 1240 | 精一 |
11 | 金相显微镜 | XJX-6 | 奥林巴斯 |
12 | 金相显微镜 | MA-2002 | 奥林巴斯 |
13 | 干涉仪 | 100 | ZYGO |
14 | 奥林巴斯体视显微镜 | SZ51 | |
15 | 紫外分光光度计 | 1700/1750/1800/2401/2450/2550 | 日本岛津 |
16 | 光谱仪 | 4100 | 日本日立 |
17 | 红外光度计 | 21 | 傅利叶 |
18 | 超声波洗净机 | 科伟达/三和 | |
19 | 二次元影像测量仪 | 2010/3020/4030 | |
20 | 全自动脱泡机 | 1200/1350/1550 | 鑫力/诺峰/深科达 |
