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机台名称：等离子体清洗机
机台型号：PLAUX-PR06L
整机规格：980mm(W)×900mm(D)×1620mm(H)
电极规格：6层平板式电极板（420mm×360mm）
电源系统：13.56MHz等离子体发生源（500W，全自动阻抗匹配）
控制系统：触摸屏 PLC自动控制
进气系统：2-5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和的技术支持。
用途：适用于LED、LCD、SMT领域，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业等。
★LED、LCD、SMT领域：LED打线、IC封装前的清洗，LCD制造工艺中清洗偏光片、
排线基位，电子元器件、光学元器件表面的清洗。
★硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
