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整机规格：1320（W）*1020（D）*1720（H）
电源频率：13.56MHz，100W-600W，全自动阻抗匹配
腔体结构：400*400*400，美铝腔体，铝电极：400mm*360mm，6层（可增加）
控制系统：PLC触摸屏全自动控制，采用欧姆龙、施耐德等品牌电器元件,有手动、自动两种控制模式，12”真彩 触摸屏，西门子可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。
真空系统：日本爱发科电阻式真空计，日本SMC破真空系统等
输入气体控制系统：2路日本SMC电磁阀门，2路日本SMC减压表（带无压力报警装置，带过滤装置）等
等离子发生器: ENI射频电源,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配，全电路保护，可连续长时间工作。
